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《半导体制造中气体的使用》已经出版

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摘要由化工部光明情报中心站组织翻译的《半导体制造中气体的使用》一书，主要内容包括。1．气体的主要性质；2．三十种半导体制造用气体的特性，3．气体贮存，使用，运输、泄漏处理、废气处理的注意事项，4．火灾、中毒的紧急处理；以及健康与安全管理；5．容器，

出处《低温与特气》 CAS 1987年第2期F004-F004,共1页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词半导体制造气体出版泄漏处理废气处理紧急处理安全管理中心站化工部健康

分类号 X701 [环境科学与工程—环境工程] TN305 [电子电信—物理电子学]

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1《半导体制造中气体的使用》即将出版[J].低温与特气,1987,5(1).
2Kosunago,Shuichi.半导体制造废水通过膜分离后循环的设备[J].水处理信息报导,2003(1):39-39.
3腊军志.二硫化碳泄漏处理及火灾扑救中相关问题探讨[J].辽宁科技学院学报,2009,11(3):25-27. 被引量：2
4用反渗透膜从含氯废水中回收脱盐水的方法[J].水处理信息报导,2002(5):40-40.
5曾琤,李斌,王平.光纤OVD工艺废气处理[J].光通信,2004(8):34-34.
6丁飞.半导体制造行业清洁生产审核温室气体减排量计算方法探讨[J].环境科学与管理,2013,38(3):169-171.
7徐振宇.如何正确处理有害物泄漏[J].劳动保护,1999(8):40-41.
8温金梅.室内空气污染与科学治理[J].大众标准化,2006,0(S2):67-67.
9董风芝,刘心中,姚德,孙永峰.粉煤灰和赤泥的综合利用[J].矿产综合利用,2004(6):37-39. 被引量：28
10杜勇,李印谦.对北电光传输设备业务中断的紧急处理[J].中小企业管理与科技,2012(30):310-311.

低温与特气

1987年第2期

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