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爆炸性废气处理装置
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摘要
本发明是关于防止SiH4、H2等排出气体澈烈燃烧的处理装置。
作者
梅垣
武士
梅钵
昭太郎
赵静渊
出处
《低温与特气》
CAS
1987年第3期69-70,共2页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
废气处理装置
爆炸性
SIH4
排出气体
分类号
X701 [环境科学与工程—环境工程]
TQ441.41 [化学工程—化学肥料工业]
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被引量：2
低温与特气
1987年 第3期
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