连续测定气体中超微量水份的水晶振荡式水份计

日本岛津制作所已完成两种首次生产的水晶振荡式水份计(低浓度用MAH-2型，高浓度MAH-50型)，且巳开始销售。该水份计能连续测定半导体生产线等使用的高纯气体中的超微量水份。