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用冷凝技术测定氯化氢气中微量水
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摘要
氯化氢气中痕量水的测定,对半导体材料制造厂来说一直是相当重要的。对氯化氢中水的检测采用过许多不同的方法,包括卡尔·费休滴定法、红外光谱技术和使用干燥剂的重量测定法等。
作者
Edward Flaherty
Christopher Herold
赵静渊
杨秀莲
出处
《低温与特气》
CAS
1987年第4期27-30,共4页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
技术测定
氢气
微量水
冷凝
红外光谱技术
半导体材料
重量测定法
痕量水
制造厂
氯化氢
滴定法
干燥剂
分类号
TQ116.2 [化学工程—无机化工]
TS228 [轻工技术与工程—粮食、油脂及植物蛋白工程]
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低温与特气
1987年 第4期
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