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电子级高纯氯研制成功
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摘要
电子级高纯氯是我国电子工业当前急需的特种气体,主要用于半导体元、器件和大规模集成电路制造工序中的热氧化、反应离子蚀刻、晶体生长和MCVD法生产单膜光导纤维预制件,以及有关工业、基础科学研究等尖端技术。我国过去使用的电子级高纯氯全部依赖进口。
作者
孔祥芝
出处
《低温与特气》
CAS
1987年第4期i002-i002,共1页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
高纯氯
电子级
研制成功
大规模集成电路
反应离子蚀刻
基础科学研究
MCVD法
特种气体
电子工业
制造工序
光导纤维
晶体生长
尖端技术
导体元
热氧化
预制件
分类号
TQ124.41 [化学工程—无机化工]
TQ171.777 [化学工程—玻璃工业]
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低温与特气
1987年 第4期
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