高纯六氟化硫研制成功

高纯六氟化硫是我国科研、生产等许多部门急需的特种气体，在半导体工业中用于等离子蚀刻工艺，在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。高纯六氟化硫还是重要的激光材料，在其它领域也有重要用途。过去，我国使用的高纯六氟化硫全部依赖进口。