由光化学反应生成细小颗粒结合光—散射法测定空气中的硅烷

用200～320nm的光辐照硅烷和臭氧的混合物,生成细小的二氧化硅颗粒(质点)。假设这样一种机理:在气相中硅烷与臭氧进行氯化,形成二氢化硅核,并在核的表面上由硅烷与O_2(′△)或O(′D)核素进行多相反应使核长大。生成的细小颗粒用光—散射的方法,仅用1毫升样品,就很容易检测5vppm以下的硅烷(美国政府工业卫生会议推荐的允许极限值为5vppm)。