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电子气在使用过程中对保持纯度的要求
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摘要
电子工业需要的关键材料之一是各种纯度极高的特种气体,称之为电子气。电子气的纯度要比其它部门用气的纯度高得多。
作者
张方明
出处
《低温与特气》
CAS
1984年第1期47-48,共2页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
电子气
纯度
特种气体
电子工业
分类号
TQ117 [化学工程—无机化工]
F426.63 [经济管理—产业经济]
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低温与特气
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