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电子气在使用过程中对保持纯度的要求

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摘要 电子工业需要的关键材料之一是各种纯度极高的特种气体,称之为电子气。电子气的纯度要比其它部门用气的纯度高得多。
作者 张方明
出处 《低温与特气》 CAS 1984年第1期47-48,共2页 Low Temperature and Specialty Gases
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