电子级高纯氨研制成功

高纯氨是电子工业所需重要气体之一，主要用于生成高质量的氮化硅薄膜。如果氨的纯度低，氮化硅薄膜中将会出现其它硅化物，如碳化硅、氧化硅等，从而使微电子元件品质下降，甚至成为废品。