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美国空气产品公司《气体数据和安全表》(三) 硅烷(SiH_4)

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摘要 硅烷(SiH4) 规格(查阅现行产品样本) 电子级,纯度99.9%。
作者 梁国伦
机构地区 光明化工研究所
出处 《低温与特气》 CAS 1985年第1期62-67,共6页 Low Temperature and Specialty Gases
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