色谱分析高纯PH_3和B_2H_6中烃杂质的方法

本文叙述了高纯PH_3和B_2H_6中烃杂质色谱分析的方法。分别使用A柱和B柱,对检定器有剧毒的主组份PH_3和B_H_6进行了切割或吸附的分离处理,烃杂质用氢焰检测器检出。可分别测出CH_4、C_2H_4、C_2H_2、C_2H_6、C_3H_6等杂质,最低检测浓度为0.4ppm。给出了色谱图,提高了相应的分析流程。