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空分气体在电子工业中很重要

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摘要 电子工业正迅速地成为空分气体工业的主导。就用量而言,半导体制造商对大宗气体的需求远不及钢铁、化学等老市场。由于冶金工业的需求量正逐步缩小,化学工业的需求增长率每年仅为5%,而集成电路工业对工业气体的需求将以每年10%以上的速度增长,这就大大地刺激了气体生产者的积极性。
作者 徐京生
出处 《低温与特气》 CAS 1985年第4期9-11,共3页 Low Temperature and Specialty Gases
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