高纯乙硼烷的研制

乙硼烷(B2H6)在半导体工业中作为成膜、外延和掺杂用气逐渐得到广泛应用。随着大规模集成电路集成度的提高，对B2H6纯度的要求也越来越高。在冶金工业中B2H6可用于．钢材的渗硼。据报道，渗硼后的钢材强度可提高十几倍。B2H6还可用于制备氮化硼，它是一种重要的新兴工业的原料。因此，B2H6的用量和应用领域也日益扩大。