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SiH_4的制造方法

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摘要 SiH4历来用作制造半导体用多晶硅、外延膜生长、硅器件钝化膜和聚硅膜等的原料气。目前，以发现非晶硅(a-Si：H)为契机，有关SiH4的应用研究就活跃起来了。而且，非晶硅的一部分已作为非晶形太阳电池和静电复印机用的感光磁鼓出售，体现了对SiH4的一部分需要。

作者八(金刄)吉文林良一韩美

出处《低温与特气》 CAS 1986年第4期20-25,共6页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词 SIH4 制造方法静电复印太阳电池非晶硅多晶硅半导体膜生长原料气钝化膜硅器件非晶形

分类号 TB852.25 [一般工业技术—摄影技术] TN304.2 [电子电信—物理电子学]

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低温与特气

1986年第4期

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