《特种气体安全措施资料集》

[主要目录]总论，有关特气的产业动向(半导体、光导纤维及特气和细陶瓷的产业动向)，有关特气的生产、进口(生产、进口的现状)，消费(在半导体制造工序中及在光导纤维生产中的消费)，容器等(填充容器、容器附件、压力调节器)，贮存(特气生产厂和消费地的贮存，以及由圆筒贮罐的贮存和消费)，输送(在工厂外和企业内的输送)，