《半导体制造中气体的使用》即将出版

由化工部光明情报中心站组织翻译的《半导体制造中气体的使用》一书,主要内容包括:1.气体的主要性质;2.三十种半导体制造用气体的特性;3.气体贮存、使用、运输、泄漏处理、废气处理的注意事项;4.火灾、中毒的紧急处理,以及健康与安全管理;5.容器、容器阀、压力调节器;6.有关没备的注意事项;7.清洗装置;8.三十种气体的蒸汽压图,以及一些数据与文献资料等。