气相色谱法测定电子混合气中磷烷含量被引量：3

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摘要叙述了用气相色谱法分析电子混合气中磷烷(PH_3)的含量。当采用热导池为检测器,氢为载气,Porapak—Q型填料的色谱柱,在严格控制载气流速、色谱柱温度和热导池温度的条件下,可测定出以H_2、N_2、Ar、He为底气的混合气中PH_3的含量,分析结果的相对标准偏差小于5%.

作者杨文松

机构地区化工部光明化工研究所

出处《低温与特气》 CAS 1988年第4期37-42,共6页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词气相色谱法电子混合气磷烷含量热导池色谱柱

同被引文献15

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低温与特气

1988年第4期

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