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表面分析技术在生产中的应用
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摘要
对某些困难的工艺问题感到迷惑不解吗?今天的表面分析技术正好有你需要的答案。
作者
Ben Schiflebein
张成方
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1989年第3期69-73,68,共6页
Microelectronics
关键词
半导体元件
表面分析
工艺
测试
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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微电子学
1989年 第3期
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