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绝缘体上硅MOSFET的特性
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摘要
本文介绍了绝缘物上硅(SOI)MOS晶体管预计具有的一些特性。简单的定性模型分析结果表明,如果采用全耗尽薄膜,可以改善各种参数,如亚阈值斜率、热电子效应和短沟道效应。
作者
Jean-Pierre Colinge
张纯蓓
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1989年第5期99-103,共5页
Microelectronics
关键词
绝缘体上硅
MOSFET器件
特性
分类号
TN386.1 [电子电信—物理电子学]
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微电子学
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