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用灰阶编码掩模制作折/衍混合微光学元件 被引量：1

Fabrication of Hybrid Micro-Optics Elements with Gray-Tone Coding Mask Method
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摘要 设计了消色差的折/衍混合微光学元件的灰阶掩模,该掩模对光刻过程中的畸变进行了预校正,并给出了模拟计算的的结果。 A gray-tone mask according to an achromatic hybrid micro-optics element is designed, and it pre-corrects the aberration in the process of lithography. The simulation results are presented.
作者 肖啸
机构地区 乐山师范学院物理与电子信息科学系
出处 《光学与光电技术》 2005年第2期48-50,共3页 Optics & Optoelectronic Technology
关键词 混合光学 灰阶编码 消色差 hybrid optics gray-tone coding achromaticity
分类号 O439 [机械工程—光学工程]
  • 相关文献

参考文献9

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二级参考文献4

共引文献10

同被引文献21

引证文献1

二级引证文献1

光学与光电技术
2005年 第2期

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