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X射线光学多层膜的研究 被引量：1

THE RESEARCH OF SOFT X-RAY OPTICS MULTILAYERS
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摘要 介绍X射线光学多层膜的构成原理、制作、测量方法及在超高真空系统中的研制技术。 The paper introduced the principle of structure of soft X-ray optics multilayers, and released the technique of measurement and fabrication of the multilayers in the UHV system.
作者 薛钰芝 林纪宁 J.Verhoeven
机构地区 大连铁道学院 荷兰FOM原子
出处 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第2期114-118,共5页 Vacuum Science and Technology
关键词 多层膜 X射线光学 薄膜 光学性质 Multilayer , Soft X-ray optics
分类号 O484.41 [理学—固体物理]
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同被引文献9

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引证文献1

二级引证文献2

真空科学与技术
1994年 第2期

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