薄膜电阻应变传感器中的绝缘隔离

Insulation in the Thin Film Resistance Strain Gauge

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摘要木文介绍了薄膜电阻应变传感器中作为绝缘隔离层的双层介质膜的制备方法及其绝缘特性． The manufactural method and insulating properties of doubly--stacked dielectric films for insulator layers in the thin film resistance strain gaugeare presented.

作者黄蕙芬

机构地区东南大学电子工程系

出处《真空》 CAS 北大核心 1994年第2期6-8,共3页 Vacuum

关键词薄膜电阻应变传感器绝缘隔离

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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