分子束外延生长室内晶片生长过程中真空度的测量被引量：1

Vacuum Measurement during the Process of Crystal Chip Growth in the Growth Chamber of Molecular Beam Epitaxy

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摘要分子束外延生长室内晶片生长过程中真空度的测量张伯文（复旦大学）ＶａｃｕｕｍＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｄｕｒｉｎｇｔｈｅＰｒｏｃｅｓｓｏｆＣｒｙｓｔａｌＣｈｉｐＧｒｏｗｔｈｉｎｔｈｅＧｒｏｗｔｈＣｈａｍｂｅｒｏｆＭｏｌｅｃｕｌａｒＢｅａｍＥｐｉｔａｘｙ￥Ｚ...

作者张伯文

机构地区复旦大学

出处《真空》 CAS 北大核心 1994年第3期43-43,共1页 Vacuum

关键词分子束外延生长室晶体真空度

分类号 O782.9 [理学—晶体学]

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真空

1994年第3期

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