真空溅射镀膜机衬底加热装置的设计

Design of Substrate Heating Equipment of Vacuum Sputter Coating Apparatus

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摘要真空溅射镀膜设备中加热装置在镀膜时常出现打火现象，本文采用金属屏蔽和外壳接地的方法很好地解决了这一问题。 Abstract The heating equipment of vacuum sputter coating apparatus always sparks during sputtering,Using metal-screening and surface earth can solve this problem well.

作者曾祥斌白铁城

机构地区华中理工大学团体电子学系

出处《真空》 CAS 北大核心 1994年第4期33-35,共3页 Vacuum

关键词溅射镀膜衬底加热装置设计

分类号 TN451.058 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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