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基底元素表面富集与扩散阻档层 被引量:1

SUBSTRATE ELEMENT SURFACE ENRICHMENT AND DIFFUSION BARRIER
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摘要 根据An-Ag系统以及An-Cu系统的扩散系数计算,提出了扩散阻挡层模型。利用这个模型对Au-Ag系统进行有关实验,得利了较好的验证。 According to the calculation results of diffusion coefficients for An-Ag and Au-Cu systems the model of diffusion barrier has been proposed in this paper and using the model of diffusion barrier the relative experiments of barrier for the Au-Ag system have been done. It can be obtained from the experiments that the model has been verified quite well for the Au- Ag system.
出处 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 1994年第4期243-245,共3页 Vacuum Science and Technology
关键词 元素表面富集 扩散系数 扩散阻档层 电负性 Element surface enrichment,Diffusion coefficient, Diffusion barrier,Electronegativity, Vaporization heat
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