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低介电常数材料的表面处理方法
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摘要
本发明涉及一种低介电常数材料的表面处理方法,包括下列步骤:沉积-低介电常数材料于-半导体基底上而形成一介电层:以及施行-氢气的电浆处理程序.以降低介电层的介电常数。
出处
《玻璃纤维》
CAS
2005年第2期36-36,共1页
Fiber Glass
关键词
低介电常数材料
表面处理方法
处理程序
介电层
半导体
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TG178 [金属学及工艺—金属表面处理]
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玻璃纤维
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