Aviza推出系列新型解决方案

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摘要日前,本刊通讯员在SemiconChina 2005展会上了解到,已通过生产验证的热处理系统领先供应商及原子层淀积(ALD)创新者Aviza Technology近期推出了一系列新型解决方案,它们分别是:半导体行业首款批量晶片处理ALD系统、第三代立式扩散炉--快速立式处理器500(RVP-500)和新型Satin TM 方案.

作者刘林发

出处《电子与封装》 2005年第4期42-42,共1页 Electronics & Packaging

关键词解决方案推出 Technology SEMICON 热处理系统半导体行业生产验证原子层供应商 ALD 处理器扩散炉第三代立式晶片

分类号 TN3-28 [电子电信—物理电子学] TQ638 [化学工程—精细化工]

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