期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
SWAGELOK扩增DRP^(TM)系列铁弗龙隔膜阀产品线,推出可人为调整的阀门
下载PDF
职称材料
导出
摘要
全球领先的半导体设备元件供应厂商Swagelok日前宣布,推出Swagelok DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀,可精确地控制流体,落实继续符合或超越超高纯度聚合系统元件SEMI Standard F57-0301标准的承诺。DRP系列产品最新的架构应用相当广泛,包括具侵蚀性的CMP半流体、酸性、化学及超高纯度DI水配送系统。
作者
张弛
出处
《电子与封装》
2005年第4期46-46,共1页
Electronics & Packaging
关键词
隔膜阀
推出
产品线
M系列
Standard
阀门
调整
人为
超高纯度
DRP系列
设备元件
高纯度铁
SEMI
系统元件
系列产品
配送系统
半导体
半流体
CMP
侵蚀性
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TH134 [机械工程—机械制造及自动化]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
1
SWAGELOK扩增DRP^TM系列铁弗龙隔膜阀产品线[J]
.集成电路应用,2004,21(4):85-85.
2
日益丰富的半导体材料[J]
.电子工业专用设备,2002,31(3):180-181.
3
张军.
二齿齿轮泵[J]
.煤矿机械,2002,23(2):44-44.
被引量:11
4
张军.
非啮合式二齿齿轮泵流量特性研究[J]
.煤矿机械,2004,25(12):47-49.
被引量:1
5
王铁,张守志.
一种具有良好节能效果的新型润滑材料[J]
.山西机械,1990(3):16-18.
6
Swagelok:为半导体制造业提供优质、高性能阀门[J]
.今日电子,2004(4):80-80.
7
日益丰富的半导体材料[J]
.中国电子商情(元器件市场),2002(9):41-42.
8
王安.
浅谈机械加工精度产生的误差及其对策研究[J]
.中国机械,2014,0(9):66-66.
9
解观景.
机械加工精度产生的误差及其对策研究[J]
.技术与市场,2016,23(2):77-77.
被引量:1
10
控制流体不用阀门[J]
.百科知识,2005(10X):4-4.
电子与封装
2005年 第4期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部