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SWAGELOK扩增DRP^(TM)系列铁弗龙隔膜阀产品线,推出可人为调整的阀门

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摘要 全球领先的半导体设备元件供应厂商Swagelok日前宣布,推出Swagelok DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀,可精确地控制流体,落实继续符合或超越超高纯度聚合系统元件SEMI Standard F57-0301标准的承诺。DRP系列产品最新的架构应用相当广泛,包括具侵蚀性的CMP半流体、酸性、化学及超高纯度DI水配送系统。
作者 张弛
出处 《电子与封装》 2005年第4期46-46,共1页 Electronics & Packaging
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