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Trikon发布全新Omegai2L干法蚀刻系统

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摘要近日，Trikcm公司宣布，其全新的Omegai2L。干法蚀刻系统在主流硅和功率管理应用中将带来新的市场机遇，其经验证的技术可以帮助降低风险、提高利润的能力.

作者付军

出处《集成电路应用》 2005年第4期59-59,共1页 Application of IC

关键词 Trikon公司 Omegai2L 干法蚀刻系统主流硅功率管理应用

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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集成电路应用

2005年第4期

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