机电部48所推出LC—2C新型中能离子注入机——各项主要技术指标与进口中束流离子注入机相当。靶上^(11)B^+大于300μA

一九八八年我们在LC—2B型中能离子注入机上配置最新研制成果—LY—3A型冷阴极潘宁离子源,并相应地对整机各有关电器、结构部件的改造更新,推出LC—2C新型中能离子注入机。该机具有性能价格比好;生产效率高;注入剂量及能量范围宽;整机工作稳定可靠;结构紧凑;真空性能好;操作维护方便等优点。该机目前为国内最先进水平。现正在苏州半导体总厂3英寸,2英寸片生产线上正常运行。整机运行稳定可靠,性能优良。