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TK—95型特种扩散泵研制报告

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摘要 一、引言TK—95型特种扩散泵(外观见封二)是在日本大亚(DAIA)公司DPF—3Z型油扩散泵的基础上,我们将其材质和结构上加以改进后于88年推出的新产品,是显象管生产线排气小车上不可缺少的专用高真空油扩散泵,属于消化吸收提高型新产品。该泵的研制工作于87年12月份开始。在试制过程中,长沙曙光电子管厂提供了一台大亚公司的原装DPF—3Z型泵和相应的产品说明书,并对第一台试制泵进行了试用,提出了若干改进意见。
出处 《微细加工技术》 1989年第1期30-33,共4页 Microfabrication Technology
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