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ELCO透镜
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摘要
本文讨论了一种新型的离子透镜,它是由分别加不同电位的一个圆筒和一根沿轴芯线所组成的静电同轴圆简透镜。文中利用数值计算的方法研究了它的场分布,轨迹及光学特性。
作者
胡乃雄
胡树椿
顾秀石
蔡仁康
机构地区
南京大学物理系
上海科技大学
出处
《微细加工技术》
1989年第2期18-22,共5页
Microfabrication Technology
关键词
ELCO
透镜
离子透镜
高能离子探针
分类号
O572.212 [理学—粒子物理与原子核物理]
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被引量:1
微细加工技术
1989年 第2期
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