新一代半导体制造装置的构想

半导体器件技术正继续札实地取得进展,今年开始小规模生产4M位的DRAM,再次出现了半导体制造厂家之间在技术方面、商业方面激烈竞争的状态。1M位的DRAM生产已达到顶峰,预计技术将更加成熟。