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MSM光探测器直流特性的二维分析 被引量：1

Analysis of MSM-PD’s DC Characteristics Using a Two Dimensional Numerical Method
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摘要 基于有限差分方法对金属半导体金属(MSM)光探测器进行了二维分析,得到有明确物理意义的模拟曲线和结论,并结合模拟结果对MSM光探测器的光电直流特性进行了分析.全部模拟工作都是基于半导体物理的基本微分方程完成的,这对于未来优化设计探测器的性能和结构有很大的意义. A 2D finite-difference method is developed to study a metal-semiconductor-metal photodetector(MSM-PD).The numerical simulation is based on the Poisson equation and continuity equations for electrons and holes.The distributions of the electrical field,the carriers and the current density in the MSM-PD are calculated,and the DC characteristics of the photodetector are analyzed.
作者 于弋川 何建军 何赛灵 邹勇卓
机构地区 浙江大学光及电磁波研究中心现代光学仪器国家重点实验室 Lightip Technologies
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期798-804,共7页 半导体学报（英文版）
基金 浙江省自然科学基金资助项目(批准号:20044131095)~~
关键词 MSM光探测器 有限差分 二维分析 直流 硅材料 MSM photodetector finite difference method 2D DC Si
分类号 TN36 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献

参考文献21

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二级参考文献6

共引文献3

同被引文献6

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引证文献1

二级引证文献4

Journal of Semiconductors
2005年 第4期

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