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利用热丝CVD工艺在铁衬底上合成金刚石
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摘要
尝试用热丝化学气相沉积工艺(HFCVD)在铁衬底上合成金刚石。通过喷嘴向铁衬底上喷射源气体,可在大气压下合成金刚石。金刚石晶粒尺寸在180分钟内可生长到约20μm。用本工艺合成的金刚石只含有少量非金刚石碳。同铁衬底的情况一样,喷射源气体也有利于硅片上的金刚石合成。
作者
石川丰
蒋修治
机构地区
不详
日本
出处
《工业金刚石》
2005年第2期9-12,共4页
关键词
热丝化学气相沉积
铁衬底
金刚石
源气体喷射
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
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工业金刚石
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