一种热丝法生长金刚石的方法

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摘要本发明属于化学汽相沉积技术，特别是涉及采用热丝法汽相沉积大面积金刚石膜的方法。本发明为了有效地利用真空室，节省电耗及气体，有效的生长大面积金刚石膜，从而提供一种由一根或多根W钨丝竖直悬挂在反应室顶，待沉积基材相对于W丝竖直悬挂在W钨丝周围的排列方式，通入反应介质，

出处《工业金刚石》 2005年第2期42-42,共1页

关键词金刚石热丝法化学汽相沉积真空室

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工业金刚石

2005年第2期

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