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BOC爱德华与KoMiCo宣布建立工具包管理联盟
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摘要
BOC爱德华公司选择了韩国的KoMiCo有限公司作为其首选的全套工具包(Chamber kit)管理服务提供商。全套工具包是指涵盖了定期维护加工工具子系统所需要的所有零件和消耗品的组合。另外,BOC爱德华和KoMiCo成功签署了协议,彼此授权对方使用他们各自的先进零件清洁技术,为他们在美国、欧洲和部分亚洲国家的共同客户服务。
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期76-76,共1页
Semiconductor Technology
关键词
工具包
BOC
管理
联盟
服务提供商
有限公司
加工工具
定期维护
清洁技术
客户服务
亚洲国家
消耗品
子系统
零件
签署
授权
分类号
F407.67 [经济管理—产业经济]
TP311.56 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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半导体技术
2005年 第5期
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