国外特种气体技术水平概况被引量：2

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摘要特种气体是具有特殊用途的气体。它是为适应现代电子工业、化学工业、尖端技术、环境保护、医学科学及基础科研、精密检测等需要，于六十年代中期在现代工业气体大规模生产的基础上迅速发展起来的一个新的生产技术体系。特别是大规模集成电路的研制和生产，大型石油化工装置生产过程的自动化等，必需使用电子气体和各种超纯气，以及以超纯气体为基础配制的各种量值可靠的混台气体，

作者梁国仑

机构地区化工部光明化工研究所

出处《低温与特气》 CAS 1983年第1期1-20,共20页 Low Temperature and Specialty Gases

分类号 TQ117 [化学工程—无机化工] TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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低温与特气

1983年第1期

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