期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
氯化氢中微量有机和无机杂质的色谱分析
被引量：
3
全文增补中
导出
摘要
由于在半导体材料生产中所使用的氯化氢要求纯度高，这就决定了对其中的杂质(特别是含氧物，如O2、CO、CO2等)含量作直接高灵敏的控制和检测的必要性。
作者
В.И.Маиорнв
А.Д.Молоgык
王先承
出处
《低温与特气》
CAS
1983年第3期57-59,共3页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
氯化氢
色谱分析
无机杂质
有机
微量
材料生产
半导体
高灵敏
CO2
分类号
O657.7 [理学—分析化学]
TQ124.42 [化学工程—无机化工]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
35
引证文献
3
二级引证文献
12
同被引文献
35
1
于剑昆.
六氟化钨的合成与开发[J]
.无机化工信息,2004(2):34-37.
被引量：13
2
张轲,牛焱,潘太军,吴维.
Corrosion behavior of NiCr alloys in HCl-containing oxidation atmosphere at 700800 ℃[J]
.中国有色金属学会会刊：英文版,2004,14(3):543-549.
被引量：3
3
李书芳,庞惠霞.
四氟化碳中微量氧、氮的气相色谱分析[J]
.低温与特气,1989,7(3):46-48.
被引量：2
4
猪口尚,伊滕文夫,刘懋才.
半导体用特种气体的处理方法——干法处理装置[J]
.低温与特气,1988,6(1):22-26.
被引量：2
5
汪毓云.
四氟化碳中微量杂质的色谱分析[J]
.低温与特气,1988,6(2):51-53.
被引量：3
6
刘忠国,杨秀莲.
高纯HCl中微量烃类杂质的分析[J]
.低温与特气,1987,5(1):42-46.
被引量：2
7
彭立培,王少波.
六氟化硫制备与纯化技术[J]
.舰船科学技术,2006,28(2):30-33.
被引量：13
8
田青,孔庆民,张宁宁,侯立刚.
3000t/a食品级液体二氧化碳生产装置[J]
.氮肥技术,2006,27(4):41-44.
被引量：8
9
张凤林.
电子级高纯氯化氢的研制[J]
.低温与特气,1990,8(2):32-38.
被引量：6
10
柳彤,王少波,李本东,李绍波.
高纯六氟化钨的生产工艺综述[J]
.舰船防化,2007(3):16-20.
被引量：20
引证文献
3
1
刘胜,庄鸿涛,郁光,杨康,李绪娜,方华,张吉瑞.
氯化氢色谱分析[J]
.低温与特气,2013,31(2):38-40.
被引量：3
2
郁光,庄鸿涛,方华.
氦离子色谱仪在气体分析领域的应用[J]
.工业技术创新,2014,1(2):226-235.
被引量：9
3
刘胜,庄鸿涛,郁光,杨康,李绪娜,方华,张吉瑞.
氯化氢中杂质的色谱分析[J]
.深冷技术,2020(3):53-57.
二级引证文献
12
1
刘海生,崔嘉敏.
炼厂常压塔顶气中氯化氢的检测[J]
.甘肃科技,2014,30(8):15-17.
2
郁光,庄鸿涛,方华.
氦离子色谱仪在气体分析领域的应用[J]
.工业技术创新,2014,1(2):226-235.
被引量：9
3
于晓艳,左世芳,卢菊花,陶明,杨红燕,赵建为,张云辉.
气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的气相色谱分析[J]
.低温与特气,2014,32(5):20-22.
被引量：15
4
徐磊,耿嘉阳,苏源,黄伟.
高纯气体中微量氧的测定方法[J]
.化学与粘合,2016,38(4):303-305.
被引量：7
5
郑东升,连鸿松,林坦,陈然.
氦离子检测器在微量SF6分解产物浓度检测中的应用分析[J]
.电子测试,2016,27(7):46-48.
6
陈学航,张建刚,高文龙,陈烨,肖超.
双氦离子化气相色谱仪分析四氟化硅气体中微量杂质[J]
.硅酸盐通报,2017,36(6):1985-1990.
被引量：1
7
徐娇,张建君,史婉君,潘晋亨,鬲春利.
我国含氟电子气体发展现状及技术进展[J]
.低温与特气,2018,36(3):1-5.
被引量：4
8
郭维,罗鹏,潘锐,郁光,庄鸿涛,方华.
新型氧气渗透管在高纯气体分析中的应用[J]
.低温与特气,2018,36(6):42-46.
被引量：1
9
唐峰,吕启深,向真,郁光,方华.
氦离子气相色谱法分析变压器油中SF6的含量[J]
.低温与特气,2020,38(4):22-25.
被引量：2
10
李萌,于洋,薛永杰,耿晓东,康文辉,张露.
氦离子化检测器与氧化锆、火焰离子、氩离子化检测器在高纯气体检测中的性能比较[J]
.当代化工研究,2022(8):39-43.
被引量：1
1
胡为工.
纯碱连续结晶工艺中无机杂质的分离[J]
.化工科技动态,1990,6(4):23-24.
2
方敏,滕冬成,王爱国,洪澍.
高品位叁季戊四醇的研究试验[J]
.化工设计通讯,2002,28(2):51-53.
3
亮镍镀液中常见的有害杂质是哪些？允许含量为多少？[J]
.表面工程资讯,2010,10(3):48-48.
4
栾国颜,高维平,姚平经.
过氧化氢中无机杂质净化技术进展[J]
.无机盐工业,2005,37(12):5-8.
被引量：2
5
王传化.
气相色谱校正曲线法快速测定磷酸三丁酯含量[J]
.磷肥与复肥,2013,28(6):69-69.
被引量：2
6
王犇 ,任保增 ,孙晓岩 ,孟韵 .
电子级过氧化氢的制备研究[J]
.无机盐工业,2004,36(5):14-15.
被引量：4
7
王先承.
氯化氢中痕量有机与无机杂质的色谱分析(文摘)[J]
.低温与特气,1983,1(2):69-69.
8
李小定,李耀会,吕小琬,陈劲松,孔渝华.
Co－Mo／MgO－Al_2O_3水煤气耐硫变换催化剂失活的研究[J]
.应用化学,1994,11(1):58-66.
被引量：8
9
吕鸣山.
高纯氢气净化工艺设备的试制[J]
.低温与特气,1986,4(1):10-12.
10
李国斌,彭荣华,唐冬秀,马凇江.
光亮镀镍液中杂质对镀层性能的影响与去除[J]
.材料保护,2002,35(8):57-57.
被引量：4
低温与特气
1983年 第3期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
