大阪氧气公司研制并销售超高灵敏的微量氧分析仪

大阪氧气工业公司研制片正式销售了“超高灵敏的微量氧分析仪”(商品名)。在大规模半导体生产中，需要对深护气体中的氧浓度进行监测。以往的分析仪的板限为1ppm，新仪器的分析可达0．01ppm。