真空工艺用低温设备和部件

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摘要一、前言过去用在真空方面的低温设备只限于使用液氮(77.3K)冷阱和吸附泵等。可是,近年来,极低温制冷机已工业化生产,使用低温机械的低温泵市场上也有出售。并且液氢(20.4K)和液氦(4.2K)目前已经能够方便地得到,真空技术和低温技术之间的相互联系越来越密切。在这种情况下,真空技术人员充分地理解低温技术是很重要的。

作者西田启一韩鸿兴韩美

机构地区不详光明所上海机械学院

出处《低温与特气》 CAS 1983年第2期15-23,共9页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词绝热真空工艺低温设备氦液化器制冷机低温泵

分类号 TB75 [一般工业技术—真空技术] TB65 [一般工业技术—制冷工程]

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低温与特气

1983年第2期

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