摘要
根据波像差理论,分析了光学头中各误差源及其对波像差造成的影响,制定了相应公差容限,分析了微光斑的显微测试原理,建立了一种显微放大系统,能有效地评价光点质量。
Based on the wave theory, every error source and its influence on the waveabrration are analyzed, and the corresponding tolerance limit is formulated. Themicromeasure principle for submicron size spot is analyzed.A microscope system is set up,and the quality of a light spot is evaluated effectively by the system.
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994年第10期827-830,共4页
Chinese Journal of Lasers
基金
国家7.5攻关项目
关键词
光学头
公差
光斑
测试
光盘
error source, tolerance limit, micromeasure