等离子体基离子注入技术发展及其应用

等离子体基离子注入是一新型的材料表面改性技术,它克服了传统离子注入视线加工的缺陷,可处理复杂形状工件,并可批量生产,生产效率高,设备成本低。本文简述了等离子体基离子注入的原理、特点及其工业的应用,并指出等离子体基离子注入技术与其他镀膜技术相结合是今后的发展趋势。