摘要
介绍了微细电化学加工的原理及特点,详细介绍了基于电化学扫描探针显微镜进行的电化学微细加工技术、EFAB制作技术、刻蚀剂层技术(CELT)、超微细电极电化学加工技术等几种目前主要的微细电化学加工技术。
The principle of electrochemical micromachining(EMM) is introduced in this paper. The main fabrication technology of EMM, such as EMM by the tip of EC-SPM,electrochemical fabrication (EFAB), confined etchant layer technique (CELT) and super-micro pole of EMM, are described in detail.
出处
《机电工程技术》
2005年第5期11-14,23,共5页
Mechanical & Electrical Engineering Technology
基金
广东省自然科学基金资助项目(020144)
广州市科技计划项目(2004Z3-D0051)
