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物理气相沉积技术在模具中的应用及发展 被引量:2

The Application and Development of Physical Vapor Deposition on Molds
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摘要 物理气相沉积(PVD)在表面处理技术中占有举足轻重的地位。本文通过对三类物理气相沉积技术原理的阐述,说明其应用现况及发展前景。 The physical vapor deposition always plays an important role in the surface treatment technology.The article illuminates its application and development by describing the theory of three kinds of physical vapor depositions.
作者 许锋 龚冬梅
出处 《皖西学院学报》 2005年第2期45-46,共2页 Journal of West Anhui University
关键词 物理气相沉积 真空蒸镀 阴极溅射 离子镀 physical vapor deposition vacuum evaporation cathode spatter ion plating
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共引文献24

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引证文献2

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