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微机电系统的机械学特性研究
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摘要
目前微机电系统的研究成果主要侧重于制造加工工艺方面,而对微机电系统机械学特性的系统研究则显缺乏。在概述微机电系统发展状况的基础上,归结分析了微机电系统在组成结构、材料特性以及力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征,并探讨了微机电系统的机械学特性。
作者
赵运才
曾纪杰
机构地区
中南大学机械工程学院
湖南理工学院机电系
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期147-149,162,共4页
Lubrication Engineering
基金
湖南省教育厅优青资助项目.
关键词
微机电系统
机械学
特性研究
加工工艺
研究成果
系统研究
发展状况
组成结构
力学行为
材料特性
分类号
TH-39 [机械工程]
TH11 [机械工程—机械设计及理论]
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