微机电系统的机械学特性研究

目前微机电系统的研究成果主要侧重于制造加工工艺方面,而对微机电系统机械学特性的系统研究则显缺乏。在概述微机电系统发展状况的基础上,归结分析了微机电系统在组成结构、材料特性以及力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征,并探讨了微机电系统的机械学特性。