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IC制造中的气动系统
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摘要
超纯系统随着大规模集成电路的发展,现已形成很大的规模,这对我国的气动行业提出了新的要求,也带来了极大的机遇。
作者
张自航
郑梦鼎
机构地区
喜开理(上海)机器有限公司
出处
《现代制造》
2005年第9期48-49,共2页
Maschinen Markt
关键词
气动系统
IC制造
大规模集成电路
极大的
分类号
TH138 [机械工程—机械制造及自动化]
F426.63 [经济管理—产业经济]
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