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半导体压阻式传感器的应用 被引量:5

The application of semiconductor and piezoresistive sensor
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摘要 传感器在生产和生活的各个方面应用广泛 ,而半导体压阻式传感器以其优越的性能成为现代测试领域的主角。在煤矿安全生产中 ,更需要传感器全面监测各种参数。如 :瓦斯监测、一氧化碳监测、二氧化碳监测、矿井压力监测、采煤机工作情况、皮带运输机的运转情况等。 The sensor is widely used in every aspect of production and life,and semiconductor piezoresistive sensor has become the main role in the modern test due to its good performance.During the process of safe production in the coal mine,the sensor is needed more to completely monitor the every kind of parament number.Such as:The gas monitors,the carbon monoxide monitor,the carbon dioxide monitor,the mine pressure monitor,how the coal machine works and how the leather belt revolving conveyance machine works etc.
作者 陈颜军
出处 《煤炭工程》 北大核心 2005年第4期71-72,共2页 Coal Engineering
关键词 半导体压阻式传感器 灵敏度 分辨率 半导体 传感器 semiconductor piezoresistive sensor flexibility resolution semiconductor sensor
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