纳米加工（nanometric machining，NM）

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摘要纳米加工是指达到纳米级精度、尺度和效率的加工。纳米加工技术是为了适应微电子及纳米电子技术、微机械电子系统(MMES)的发展而迅速发展起来的一门加工技术。目前，探索新的纳米加工方法和手段已成为纳米技术领域中的热点。纳米加工技术主要包括：

出处《机电一体化》 2005年第3期97-97,共1页 Mechatronics

关键词纳米加工技术微机械电子系统纳米电子技术纳米级精度技术领域加工方法微电子

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机电一体化

2005年第3期

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