紫外发射增强的氧化锌薄膜的制备方法

该发明专利是一种紫外发射增强的氧化锌薄膜的制备方法。该专利采用的是磁控反应溅射法。其特征是：采用99．999％的金属锌作为阴极靶，在阴极靶材中掺入0．1wt％～5wt％的光谱纯的金属铁。